QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录

微信扫一扫,快速登录

手机动态码快速登录

手机号快速注册登录

查看: 37|回复: 0
打印 上一主题 下一主题
收起左侧

[微信订阅] 向1nm技术节点进军

[复制链接]

1万

帖子

2931万

积分

1875 小时

在线时间

01店-管理组

Rank: 8Rank: 8

UID
162051
购机币
146527402
金币
19986
贡献
1722
在线时间
1875 小时
注册时间
2014-8-25

论坛管理员勋章骨灰玩家终身成就奖宣传大使勋章鉴定大师优秀会员勋章灌水天才勋章原创先锋风雨历程奖发贴排行之星勋章在线王勋章论坛帅哥勋章三星勋章苹果勋章小米勋章华为勋章魅族勋章VIVO勋章OPPO勋章

楼主
跳转到指定楼层
发表于 2019-11-28 21:02:30 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式



IMEC于10月11日在东京举办了年度研究结果介绍会“ IMEC Technology ForumJapan 2019(ITF Japan 2019)”。


原先负责并领导IMEC的半导体微缩化工艺/器件部门的安·斯蒂根(An Steegen)于2018年秋季突然退休,留下重要职位空缺。会议当天,新到任的Myung-Hee Na博士作了题为“通往CMOS微型化极限的道路”的演讲,并介绍了更新至1nm节点的IMEC半导体技术路线图。在2001年加入IBM之后,她从事尖端半导体工艺和器件的研发工作已有18年,并于2019年加入IMEC。前任Steegen也来自IBM,因此Myung-Hee算是其后辈。
改进晶体管的结构和材料以延续摩尔定律
让我们看一下IMEC发布的半导体技术路线图。横轴表示时间,纵轴表示每单价的晶体管数(晶体管数/美元)。随着微型化和集成化的发展,由于工艺复杂性,制造成本正在迅速上升,因此,无法按摩尔定律降低单位晶体管的制造成本。


迈向1nm节点的技术路线图(来源:IMEC)
长期以来,摩尔定律已经失效,但IMEC并没有放弃,持续改进晶体管结构和材料,并且对工艺进行优化以呈现1nm节点的技术路线图。
从28nm技术节点采用HKMG(High-K/ Metal Gate),并在16 / 14nm之后从传统的平面结构转向FinFET结构。从7 /5nm开始,开始采用Co作为MOL布线材料以及EUV光刻,以进一步改进FinFET结构。
从4/3nm节点开始,FinFET将被GAA结构取代,第一代GAA将采用硅纳米片。独创的埋入式电源线(将Vcc和地线埋入前层以压缩标准单元面积)将采用Ru作为布线材料。


半导体器件结构路线图(来源:IMEC)


2nm采用Forksheet,1nm采用CFET
对于高性能和低功耗应用,IMEC计划采用FinFET的改进版本。换句话说,2nm技术节点将采用Forksheet结构,其中n型和p型纳米片紧密地靠在一起,并且其间有一层“绝缘墙”。之所以命名为forksheet,是因为其截面类似于餐叉。与此同时,在芯片背面提供配电网络(PDN)从而向BPR提供有效的电能供应。
当达到1nm节点时,IMEC会采用CMOS结构的Complementary FET(CFET)。在此,通过在p型FET上堆叠n型FET,即通过三维堆叠具有不同导电类型的晶体管,从而标准单元面积被大大减小。据说芯片的背面可以提供更多功能,但未公开细节。从这里开始,将采用high-NA EUV光刻以进一步微缩晶体管结构。
IMEC还希望采用二维材料,自旋电子学和量子计算。为了将来进一步微缩,除了设计和工艺协同优化(DTCO)之外,系统和工艺协同优化(STCO)也很重要。


最终的二维CMOS结构“Forksheet FET”(来源:IMEC)
到目前为止,SRAM必须在每个存储单元的平面上构建6个晶体管。IMEC表示,通过改进晶体管结构和电源线,即通过采用GAA和BPR,顶视图中SRAM晶体管的等效数量可以减少到每个存储单元4.4个晶体管,即SRAM单元面积大约减小到原来的2/3。
延续摩尔定律的另一种技术是3D封装。在2019年5月于比利时举行的IMEC技术论坛2019上对此进行了详细介绍。从芯片堆叠开始的3D封装最终将出现在晶体管本身的3D堆叠中。IMEC正在同时研究垂直堆叠以及横向微缩,并正在尝试提高系统集成度。为此,IMEC同时专注于优化工艺技术,设计技术和系统技术。




分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空间QQ空间 腾讯微博腾讯微博 腾讯朋友腾讯朋友
收藏收藏 转播转播 分享淘帖 点赞点赞
1111
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 微信登录 手机动态码快速登录

本版积分规则

01店手机网淘宝店: 实体店地址:深圳华强北曼哈数码广场B座3F128
01店手机网
X
Q在线客服 Q批发客服

旺旺客服咨询
淘宝客服:
0755-88917456
营业时间:
淘宝9:00-23:30
实体13.00-19.00
微信:shhuo201301店微信

小黑屋|手机版|人才招聘|01店手机网 ( )   

GMT+8, 2019-12-8 09:10 , Processed in 0。150745 second(s), 21 queries , Gzip On, Apc On。

快速回复 返回顶部 返回列表
澳门真人美女棋牌 波克棋牌 小金棋牌 网易棋牌 麻将棋牌 荣耀棋牌 棋牌游戏 澳门真人棋牌游戏 金币棋牌 人人棋牌